常見問題
為什么要在超純水中添加氣體？
發布時間：
2019-08-07
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3552次
功能水是近年正在迅猛發展的新技術，即在超純水中溶入少許藥劑或氣體而使其洗凈效果大為提高的水，例如在超純水中溶入適量的氫氣和臭氧。
一、氫氣
在超純水中加入適量氫氣，使其電阻率控制在14MΩ/cm，這種水用于硅材料的切、磨可避免靜電問題。
二、臭氧
為了確保超純水供水管網末梢在使用過程中細菌和TOC指標不超過相關要求，可在超純水供水管網中添加臭氧來控制細菌和TOC指標。同時超純水中少量的臭氧可以提高水的洗凈效果。
需要注意的是，由于臭氧在超純水中分解速度較慢，半衰期為20~50分鐘。回水中殘存的臭氧如果進入超純水系統會對樹脂起氧化破壞作用，使樹脂發生交聯結構降解、體積膨脹、交換容量降低、顆粒破裂等現象，因此應當采用254nm的紫外線以催化分解的方式將回水中殘存的臭氧去除掉，一般消除1mg/L臭氧殘留所需的紫外線照射量為90000μw.s/cm2。
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